====== Маршрутные карты для ИКИ ======

====Маршрутная карта Фильтры.====
== делает НИИ МВ==
004 Распаковка пластин 02736900000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.

005 Входной контроль пластин 02736900000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.

006 Сортировка пластин.

010 Предварительная полировка пластин.

015 Отмывка стеклянных пластин после предварительной полировки.

020 Контроль внешнего вида пластин.

025 Финишная полировка пластин.

030 Отмывка стеклянных пластин после финишной полировки.

035 Контроль внешнего вида пластин.

040 Финишная отмывка стеклянных пластин перед напылением.

045 Нанесение маскирующего слоя на стеклянную пластину.

050 Контроль стеклянных пластин после нанесения маскирующего слоя.

055 Нанесение антистатического слоя на пластину.

060 Окончательный контроль фильтра.

065 Упаковка фильтра НРДК 755415.003.


====Маршрутная карта Диафрагмы.====
==делает НИИ МВ==
004 Распаковка пластин 02736800000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.

005 Входной контроль 02736800000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.

006 Сортировка пластин.

010 Предварительная полировка пластин.

015 Отмывка стеклянных пластин после предварительной полировки.

020 Контроль внешнего вида пластин.

025 Полирована пластин финишная.

 030 Отмывка пластин после финишной полировки.

035 Контроль внешнего вида.

040 Финишная отмывка стеклянных пластин перед напылением.

045 Нанесение маскирующего слоя на стеклянную пластину.

050 Контроль стеклянных пластин после нанесения маскирующего слоя (выборочный контроль проколов и т.д.

051 Контроль оптической плотности пластин.

055 Нанесение слоя резиста 07562149.60271.00030

060 Сушка слоя резиста 07562149.60201.00144

065 Контроль пластин после сушки слоя резиста.

070 Термообработка слоя фоторезиста 07562149.60250.00001

071 Упаковка ФШЗ для передачи в НИИ ФП.
==делает НИИ ФП==
075 Экспонирование слоя фоторезиста (НИИ ФП)

080 Контроль качества рисунка в слое фоторезиста 17  (НИИ ФП)

085 Проявление экспонированного слоя фоторезиста (НИИ ФП)

090 Контроль качества рисунка в слое фоторезиста (НИИ ФП)
095 Травление слоя хрома (НИИ ФП)

100 Снятие слоя фоторезиста (НИИ ФП)

105 Контроль качества рисунка в слое хрома (НИИ ФП)

106 Наклейка защитной пленки (Кабаев) (НИИ ФП)

107 Упаковка Шаблона (НИИ ФП)
==делает МИЭТ==
110 Резка шаблона на заготовки щелевых диафрагмы (МИЭТ)

111 Упаковка заготовок МИЭТ.

==делает НИИ МВ==

112 Обработка фаски заготовок для щелевых диафрагм.

115 Отмывка щелевых диафрагм.

120 Окончательный контроль щелевых диафрагм.

125 Отмывка щелевых диафрагм 

130 Упаковка щелевых диафрагм НРДК 755415.002