Различия

Здесь показаны различия между двумя версиями данной страницы.

--- marshrutnaja_karta_iki [2018/03/14 14:11]
admin создано
+++ marshrutnaja_karta_iki [2018/03/14 14:18] (текущий)
admin
@@ Строка 1: / Строка 1: @@
 ====== Маршрутные карты для ИКИ ======
+====Маршрутная карта Фильтры.====
+== делает НИИ МВ==
+Распаковка пластин 02736900000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.
+Входной контроль пластин 02736900000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.
+Сортировка пластин.
+Предварительная полировка пластин.
+Отмывка стеклянных пластин после предварительной полировки.
+Контроль внешнего вида пластин.
+Финишная полировка пластин.
+Отмывка стеклянных пластин после финишной полировки.
+Контроль внешнего вида пластин.
+Финишная отмывка стеклянных пластин перед напылением.
+Нанесение маскирующего слоя на стеклянную пластину.
+Контроль стеклянных пластин после нанесения маскирующего слоя.
+Нанесение антистатического слоя на пластину.
+Окончательный контроль фильтра.
+Упаковка фильтра НРДК 755415.003.
+====Маршрутная карта Диафрагмы.====
+==делает НИИ МВ==
+Распаковка пластин 02736800000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.
+Входной контроль 02736800000 из стекла К208 ОСТ 3-3677-82.
+Сортировка пластин.
+Предварительная полировка пластин.
+Отмывка стеклянных пластин после предварительной полировки.
+Контроль внешнего вида пластин.
+Полирована пластин финишная.
+Отмывка пластин после финишной полировки.
+Контроль внешнего вида.
+Финишная отмывка стеклянных пластин перед напылением.
+Нанесение маскирующего слоя на стеклянную пластину.
+Контроль стеклянных пластин после нанесения маскирующего слоя (выборочный контроль проколов и т.д.
+Контроль оптической плотности пластин.
+Нанесение слоя резиста 07562149.60271.00030
+Сушка слоя резиста 07562149.60201.00144
+Контроль пластин после сушки слоя резиста.
+Термообработка слоя фоторезиста 07562149.60250.00001
+Упаковка ФШЗ для передачи в НИИ ФП.
+==делает НИИ ФП==
+Экспонирование слоя фоторезиста (НИИ ФП)
+Контроль качества рисунка в слое фоторезиста 17  (НИИ ФП)
+Проявление экспонированного слоя фоторезиста (НИИ ФП)
+Контроль качества рисунка в слое фоторезиста (НИИ ФП)
+Травление слоя хрома (НИИ ФП)
+Снятие слоя фоторезиста (НИИ ФП)
+Контроль качества рисунка в слое хрома (НИИ ФП)
+Наклейка защитной пленки (Кабаев) (НИИ ФП)
+Упаковка Шаблона (НИИ ФП)
+==делает МИЭТ==
+Резка шаблона на заготовки щелевых диафрагмы (МИЭТ)
+Упаковка заготовок МИЭТ.
+==делает НИИ МВ==
+Обработка фаски заготовок для щелевых диафрагм.
+Отмывка щелевых диафрагм.
+Окончательный контроль щелевых диафрагм.
+Отмывка щелевых диафрагм
+Упаковка щелевых диафрагм НРДК 755415.002